| G5+系列 | |
| 最大基板尺寸 | 400*340mm |
| 可擴展 | 530*340mm（選項） |
| 最小基板尺寸 | 50*50mm |
| 基板厚度尺寸 | 0.4~6mm |
| 鋼網框架尺寸 | 470*370~737*737mm (厚度：20-40mm） |
| 傳輸方向 | 左進右出、右進左出、同進同出 |
| 清洗方式 | 濕擦、干擦、真空擦、高速清洗 |
| 功率要求 | AC:220 ±10%, 50/60Hz 2.2KW |
| 設備尺寸 | L1146mm*W1384mm*H1460mm(不含三色燈） |
| G5+系列 | |
| 最大基板尺寸 | 400*340mm |
| 可擴展 | 530*340mm（選項） |
| 最小基板尺寸 | 50*50mm |
| 基板厚度尺寸 | 0.4~6mm |
| 鋼網框架尺寸 | 470*370~737*737mm (厚度：20-40mm） |
| 傳輸方向 | 左進右出、右進左出、同進同出 |
| 清洗方式 | 濕擦、干擦、真空擦、高速清洗 |
| 功率要求 | AC:220 ±10%, 50/60Hz 2.2KW |
| 設備尺寸 | L1146mm*W1384mm*H1460mm(不含三色燈） |